晶圓鍍銅柱Pillar：專為鍍銅柱工藝設(shè)計，工藝流程簡單，產(chǎn)品性能穩(wěn)定。
操作條件
參 數(shù) | 范 圍 | 最 佳 值 |
銅濃度 | 45 – 55 g/L | 50 g/L |
酸濃度 | 90 - 110 g/L | 100 g/L |
溫度 | 25 – 50 ℃ | 40 ℃ |
REM-9001 潤濕劑 | 5 – 20 ml | 10 ml |
REM-9002 光亮劑 | 1 – 5 ml | 3 ml |
REM-9003 整平劑 | 5 – 20 ml | 10 ml |
溶液攪動 | 強力攪動 | |
電流密度 | 5 - 20 ASD | 15 ASD |
